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上海飛魯2X-150F旋片真空泵的結(jié)構(gòu)剖析



2X-150F型泵:圖1是2X-150F型旋片式真空泵中最大的泵之結(jié)構(gòu)圖。前面舉的小泵均采用雙級(jí)串聯(lián)方式。工作時(shí),只高真空級(jí)泵承擔(dān)全部抽氣作用。當(dāng)初始抽氣時(shí),高真空級(jí)排氣的壓力能夠打開排氣閥片,氣體排出一部分,另一部分由低真空級(jí)閥片排出。此時(shí)低真空級(jí)只相當(dāng)于輸氣通道。對(duì)于大泵來講,低真空級(jí)不承擔(dān)排氣是種浪費(fèi),故2X-150F采用并串聯(lián)結(jié)構(gòu),在泵的兩級(jí)通道之間加一個(gè)手動(dòng)變換閥,使前后兩級(jí)可并聯(lián)亦可串聯(lián)進(jìn)行排氣。

a, b是該泵高、低真空級(jí)泵腔剖面圖
圖1,a, b是該泵高、低真空級(jí)泵腔剖面圖。
圖1  2X-150F結(jié)構(gòu)圖

在提高容積利用系數(shù)上,為使旋片在轉(zhuǎn)子槽中含量不致過少,采用凸凹銜接(見圖2),這樣,不僅使每個(gè)旋片重量減少2公斤,且使泵腔壓力減少,磨損小,提高了轉(zhuǎn)數(shù)和壽命。

2X-150F旋片結(jié)構(gòu)圖
圖2  2X-150F旋片結(jié)構(gòu)圖
1.這些面鑄后不加工; 2.導(dǎo)向面

整機(jī)取消了公共底盤。高真空級(jí)定子腔直徑φ280毫米,轉(zhuǎn)子直徑φ210毫米,定子長(zhǎng)420毫米,旋片厚15毫米。低真空級(jí)定子直徑φ190毫米,轉(zhuǎn)子直徑φ145毫米,定子長(zhǎng)90毫米,旋片厚12毫米。壓縮比取1:10, K取0.88和0.9,幾何抽速Sn分別為142.56升/秒和14升/秒。極限壓強(qiáng):串聯(lián)為2.8x10-4托,并聯(lián)為1.2x10-2托。

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