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真空泵表面清潔的重要性



在真它系統(tǒng)的暴露表面上單一層單分子層氣體的氣體里基本上就是一個(gè)無限的氣源,這使真空泵處于滿負(fù)荷工作狀態(tài)?梢姽獾牟ㄩL為5x10-5cm左右,而單分子層中分子之間的間隔為10-7cm。了解這一點(diǎn)可以更突出單分子層的微小程度。當(dāng)裝配真空系統(tǒng)時(shí),必須用液體對(duì)其表面進(jìn)行化學(xué)清洗,并要求清洗液在蒸發(fā)干燥后,其殘留物完全可忽略不計(jì)。此外,用于最后清洗的液體的蒸氣壓必須足夠高,以便在不太長的時(shí)間內(nèi)可以揮發(fā)、干燥。


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